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离子溅射仪的操作: 1、一般工作距离可调,距离越近,溅射速度越快,但热损伤会增加。 ...
直流冷阴极二极管式,靶材处于常温,加负高压1-3kv,阳极接地。当接通高压,阴极发射电子,电...
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